金融界2025年8月15日消息，国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“经由宽带照明的单次抓取光瞳景观”的专利，公开号CN120500664A，申请日期为2024年05月。

专利摘要显示，一种用于叠加计量的方法可包含产生宽带照明射束及将所述宽带照明射束导引到样本上的叠加目标，其中所述叠加目标可包含具有形成为重叠光栅结构的周期性特征的单元。所述方法可包含使用所述叠加目标的所述周期性特征来产生衍射光，其中所述周期性特征可充当衍射光栅以通过将所述宽带照明射束分离成多个波长来产生衍射光。所述方法可包含产生所述叠加目标的单元的光瞳图像，其中所述光瞳平面中的光分布可包含一级衍射瓣，其中所述一级衍射瓣的光谱可经空间色散在所述光瞳平面中。所述方法可包含基于对应于所述一级衍射瓣的所述光谱的选定波长的所述光瞳图像的部分来产生叠加测量。

本文源自：金融界

作者：情报员