8月19日，半导体设备ETF（159516）报收1.134元，收跌1.73%，成交金额2.08亿元。净流入金额达7646.2万元，居于可比基金第一。

资金流入也带来了份额的增长，该基金最新份额较前一日增长6700万份，增至29.94亿份。与此同时，该基金最新规模达33.93亿元。

半导体设备ETF（159516）的场外联接基金为：国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接A（019632.OF）、国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接C（019633.OF）。