金融界2025年8月21日消息,国家知识产权局信息显示,英穆自动化科技(厦门)有限公司取得一项名为“一种晶圆搬运装置”的专利,授权公告号CN223245580U,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,一种晶圆搬运装置,包括吸盘机构和夹爪机构;吸盘机构包括伯努利吸盘;夹爪机构包括夹爪驱动组件和两个可调夹爪,夹爪驱动组件驱动两个可调夹爪相对靠近或者远离;两个可调夹爪分别以伯努利吸盘的中心进行横向对称分布;可调夹爪包括卡接板和旋转卡爪,卡接板与夹爪驱动组件相连,旋转卡爪可水平转动并朝内或朝外地装配于卡接板上,该旋转卡爪底部横向的一侧设有卡爪部,卡爪部上设有水平设置的环形卡槽。借此,设置伯努利吸盘可避免ABM膜被吸引变形。而通过简单的转动旋转卡爪,就可以调节横向两侧的两个卡爪部的间距,以满足大尺寸晶圆和小尺寸晶圆的生产需求,无需更换设备,操作方便,结构简单,可有效的提高生产效率。
天眼查资料显示,英穆自动化科技(厦门)有限公司,成立于2016年,位于厦门市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析,英穆自动化科技(厦门)有限公司参与招投标项目1次,专利信息12条,此外企业还拥有行政许可8个。
本文源自金融界
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