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Smart Solutions 是一家专门从事半导体蚀刻工艺设备的公司，正在向中国天马供应 EPD（终点检测）设备。

据《中国招标》9月9日报道，Smart Solutions公司被选为天马厦门显示技术项目12个电子示波器（EPD）的供应商。EPD是一种用于确定蚀刻设备终点的装置，该设备使用等离子体进行半导体和液晶显示器制造中的蚀刻工艺。蚀刻过程中产生的等离子体会根据特定元素和分子发出特定波长的光。EPD实时分析该光的强度（光谱）。随着蚀刻过程的进行和特定薄膜的去除，等离子体发射光谱会发生变化。这种变化会被检测到并传达，以停止蚀刻设备。

天马在厦门市运营着一家第六代 (G6) 柔性有机发光二极管 (OLED) 工厂。天马计划将该设备用于 G6 OLED 生产的干法蚀刻工艺，包括栅极蚀刻、源极/漏极 (SD) 蚀刻、缓冲蚀刻和层间电介质 (ILD) 蚀刻。这并非 Smart Solutions 首次向天马供应 EPD 设备。该公司曾在 2013 年向天马供应 EPD 设备。主要客户包括三星电机、三星显示器、SK 海力士、Wonik IPS、京东方和友达光电。

Smart Solutions 拥有其自主研发的 Smart-EPD 设备。目前 Smart Solutions 向天马发货的包括两台主控制器和十台 EPD，共计十二台。该设备尺寸为 500 毫米 x 500 毫米，高 300 毫米。Smart Solutions 向天马支付的价格尚不清楚。

Smart Solutions成立于2000年10月，是一家半导体和显示设备公司。除了Smart-EPD之外，该公司还开发了用于检测真空设备空气流入的Smart-HMS，以及用于检测玻璃基板裂纹和划痕的EGS-Crack。该公司之前名为Semisysco和Edison EV。由于2021年和2022年连续的审计报告均拒绝接受审计意见，该公司于去年7月退市。

来源：thelec

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