关键词：显影液/四甲基氢氧化铵
行业：半导体/光刻胶
摘要
显影液是光刻过程中关键的化学材料，广泛应用于半导体制造和微电子器件。常见的显影液成分是四甲基氢氧化铵（TMAH）。显影液的主要作用是去除光刻胶中未固化的部分，从而在基材上形成所需的图案。本例通过电位滴定法测定一种显影液中四甲基氢氧化铵的浓度。
仪器配置
●CT-1Plus电位滴定仪
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●pH-102电极
●20mL高精度计量管
●100mL滴定杯
试剂配置
●滴定剂：盐酸标准溶液
●滴定度：0.0801mol/L
●溶剂：纯水
测定方法
●酸碱滴定/电位滴定
●适量样品于干燥烧杯中，加入50mL纯水，搅拌溶解
●将烧杯置于滴定台上，选择四甲基氢氧化铵滴定方法，用盐酸标准溶液滴定到终点
仪器参数
● 最小滴定体积：20μL
● 最大滴定体积：100μL
● 搅拌速度：200
● 每滴间隔：1000ms
● 终点模式：微分阈值判定
● 微分设置：200
测试数据
● 环境温度：23℃ ● 环境湿度：50%
● 测试时间：3min
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测试结果：经测试，样品的四甲基氢氧化铵浓度约为2.3863%。
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