2025年10月9日，半导体设备材料ETF（159516.SZ）收涨2.62%，主力资金（单笔成交额100万元以上）净流出5093.52万元，居可比基金第一。

与此同时，该基金最新成交量为11.87亿份，最新成交额达19.19亿元，当日主力资金净流出成交额占比达2.65%。

半导体设备材料ETF（159516.SZ），场外联接(A类：019632；C类：019633）。