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2023 年底开始出货0.55NA的High-NA EUV 光刻机,首台给了intel

预计:截止到2025.12月,High-NA EUV累计出货将达到1+6+10=17台台 。其中intel累计12台、台积电2台、三星2台、海力士1台。

2018-2024年EUV出货情况我放到知识库