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案例：某光伏产业园多厂区废气集中处理项目

项目背景

该项目为华南地区某光伏产业园的配套环保设施，集中处理园区内3家光伏电池片生产企业排放的工艺废气。设计总处理能力20万m³/h，采用"分散收集+集中处理"模式，项目总投资1500万元，2019年建成投运。

废气特性与来源构成

集中处理废气成分更为复杂，主要包括：来自制绒工序的HF-HNO3混合酸雾（占总废气量40%）；扩散工序的磷系化合物（25%）；PECVD工序的硅烷、氨气（20%）；丝网印刷工序的有机溶剂废气（15%）。废气具有浓度波动大、成分复杂、部分具有燃爆风险等特点。

创新处理工艺路线

项目采用多技术协同处理的工艺方案：

预处理系统

：各厂区废气经专用管道输送至处理中心，先经过气液分离器和调质塔，调节废气温度、湿度并去除大颗粒物。

核心处理单元

酸性气体采用"湍流吸收+生物滴滤"组合工艺，在传统碱喷淋后增加生物处理段，利用硫杆菌等微生物进一步降解残余酸性物质。

硅烷处理采用"低温等离子体+催化氧化"新技术，先在等离子体反应器中预分解，再经催化氧化彻底处理，能耗比传统燃烧法降低40%。

VOCs采用沸石转轮浓缩+RTO蓄热燃烧工艺，浓缩比达15:1，燃烧室温度维持在800℃，热回收效率超过95%。

深度处理与排放

：各支路处理后的废气汇入总管，经湿式静电除尘器深度净化后通过45米高烟囱排放。系统配备完善的在线监测、报警和应急处理装置。