航鑫光电 FILMTHICK - C10 膜厚检测仪：半导体及多领域薄膜测量的技术先锋

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技术原理与测量方式

光学薄膜测量设备的光谱测量方式主要有椭圆偏振和垂直反射两种

椭圆偏振测量方式

光源发出的光经起偏器和光学聚焦系统，以特定角度入射圆片，经表面膜层和硅衬底反射后，由光谱仪接收。通过对膜厚和薄膜光学常数等变量进行回归迭代逼近，使计算光谱与实测光谱吻合，最终迭代值即为所测薄膜的厚度和光学常数。

特点：

  • 高精度测量薄膜厚度和光学常数

  • 适用于各类薄膜测量

  • 在测量复杂多层膜和超薄薄膜时优势明显

  • 提供更精确的光学常数信息

垂直反射式测量

仅能得到圆片表面的垂直反射光谱，不包含偏振光的位相变化信息，需与事先在标准裸圆片上测得的反射光谱对比，才能得到样品的垂直反射率。

性能参数：

  • 灵敏度低于椭圆偏振式测量

  • 主要用于较厚薄膜和单层膜的厚度测量

  • 测量速度较快

  • 操作相对简单

四探针法测量技术

  • 用于测量薄膜方块电阻率

  • 通过反推公式计算薄膜厚度

  • 满足多样化测量需求

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核心技术参数与优势光学系统

  • 采用进口卤钨灯光源

  • 使用寿命超10000小时

  • 非接触式无损测量

  • 可测反射率/颜色/膜厚等参数

测量软件

  • 配备OPTICAFILMTEST专业软件

  • 集成FFT傅里叶法/极值法/拟合法

  • 开放型材料数据库

  • 实时显示干涉/FFT波谱/膜厚趋势

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行业应用场景半导体芯片制造

  • 提升芯片性能和良率

  • 严格把控薄膜厚度

  • 提高芯片稳定性和可靠性

液晶显示领域

  • 优化显示效果

  • 减少色差和闪烁现象

  • 提升光学性能/清晰度/色彩还原度

光学镀膜领域

  • 确保镀膜质量

  • 提高光学元件性能

生物医学领域

  • 生物薄膜厚度测量

  • 支持医疗设备制造技术

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