国家知识产权局信息显示，埃地沃兹日本有限公司申请一项名为“真空泵、控制装置及升温时间控制方法”的专利，公开号CN121013944A，申请日期为2024年3月。专利摘要显示，本发明的目的在于提供一种从伴随加热的高温中保护基板且实现泵的升温时间的缩短的真空泵、控制装置及升温时间控制方法。从配设于加热器（1）附近的温度传感器（3）检测出温度信息并将其输入至控制装置（200）。在控制装置（200）的升温状态判定部中在步骤1开始升温状态的判定。在步骤3中将输入的温度信息与额定温度进行比较。该额定温度根据泵的机种或规格而不同，定义为防止产物堆积所需的目标温度。且如步骤5所示，在输入的全部温度信息变为高于额定温度时判断为升温后模式，在步骤9中完成该处理。另一方面，如步骤7所示，在低于额定温度的状态时判断为升温中模式，在步骤9中完成该处理。之后周期性地重复步骤1～步骤9的动作。

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作者：情报员