国家知识产权局信息显示,朗信(苏州)精密光学有限公司申请一项名为“一种基于去除函数的离子源位置校准方法、系统、设备和介质”的专利,公开号CN121018296A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明提供的一种基于去除函数的离子源位置校准方法,包括以下步骤:在工件的预设对称位置加工多个去除函数斑点;获取工件加工后的面型数据,与工件加工前的面型数据作差,计算得到去除函数斑点的干涉误差面型;基于干涉误差面型提取所述去除函数的像素中心位置和工件的像素中心位置;根据去除函数的像素中心位置和提取工件的像素中心位置确定去除函数斑点相对于工件中心位置的实际偏差;根据实际偏差调整离子源位置,完成校准。相比于现有技术,本发明的基于去除函数的离子源位置校准方法,通过实际加工去除函数斑点位置计算得到实际偏差,并对离子源位置进行偏差补偿的校准手段,达到了提高离子束抛光精度的效果。该系统具有相同的有益效果。
天眼查资料显示,朗信(苏州)精密光学有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,朗信(苏州)精密光学有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目44次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息28条,此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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