国家知识产权局信息显示,通快霍廷格两合公司申请一项名为“用于等离子体处理馈电系统和等离子体处理系统的用于耦合RF信号的RF功率放大器单元”的专利,公开号CN121039952A,申请日期为2024年5月。
专利摘要显示,本发明涉及用于耦合RF信号的RF功率放大器单元(10),该RF功率放大器单元特别地用于等离子体处理馈电系统,所述单元包括:a)第一RF功率放大器级装置(AU1),b)第二RF功率放大器级装置(AU2),c)第一传输线装置(TL1)和第二传输线装置(TL2),该第一传输线装置和该第二传输线装置各自连接至两个RF功率放大器级装置(AU1,AU2)的输出端,d)耦合线装置(TLC),该耦合线装置被设计成传输两个RF功率放大器级装置(AU1,AU2)的输出功率之和,其中e)两个传输线装置(TL1,TL2)各自连接至耦合线装置(TLC),以便能够将第一RF功率放大器级装置(AU1)和第二RF功率放大器级装置(AU2)的输出功率传输至耦合线装置(TLC),f)测量装置(M1),该测量装置被设计成确定描述由RF功率放大器级装置和/或RF功率放大器单元输出的功率的变量,所述测量装置定位在传输线装置(TL1,TL2)和/或耦合线装置(TLC)中的至少一者上。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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