国家知识产权局信息显示，上海高笙集成电路设备有限公司取得一项名为“一种半导体工艺设备的尾气处理设备”的专利，授权公告号CN223610137U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种半导体工艺设备的尾气处理设备，该尾气处理设备的燃烧模块包括主燃烧腔体、辅燃烧腔体，主燃烧腔体和辅燃烧腔体之间间隔设置，形成供空气进入主燃烧腔体的通道；主燃烧腔体外部套设有第一隔热层和第二隔热层；第一隔热层和主燃烧腔体之间形成用于向主燃烧腔体提供空气的第一隔热腔；第二隔热层和第一隔热层之间形成用于流过冷却水的第二隔热腔；通过向主燃烧腔体提供空气能够使得尾气充分燃烧，充分去除尾气中的可燃烧的有害物质；同时，设置的第一隔热层和第二隔热层能够对主燃烧腔体起到双层隔热的作用，降低燃烧模块的温度。

天眼查资料显示，上海高笙集成电路设备有限公司，成立于2019年，位于上海市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1700万人民币。通过天眼查大数据分析，上海高笙集成电路设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息124条，此外企业还拥有行政许可5个。

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作者：情报员