国家知识产权局信息显示,柯泰光芯(常州)测试技术有限公司申请一项名为“一种探针台的接触式晶圆厚度补偿方法”的专利,公开号CN121027581A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明公开一种探针台的接触式晶圆厚度补偿方法,该方法包括:对准晶圆后设定安全起始高度、压力阈值及其他参数,大步长快速逼近、二分法区间压缩、超小步长精细定位三阶段,驱动电动卡盘组件定位初始接触高度;测试时实时检测实际针压值,对针压值滤波、拟合压力‑高度线性关系后,与首颗芯片针压比较,计算补偿量调整下一颗芯片接触高度;循环执行实现全晶圆动态补偿,本发明定位精度达0.1μm级,补偿误差小,无需特殊测试键,兼顾安全性与测试效率,适用于半导体晶圆测试领域。
天眼查资料显示,柯泰光芯(常州)测试技术有限公司,成立于2019年,位于常州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本552.5万人民币。通过天眼查大数据分析,柯泰光芯(常州)测试技术有限公司参与招投标项目25次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息16条,此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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