国家知识产权局信息显示,中山复元新材料科技有限责任公司、中山复旦联合创新中心申请一项名为“基于三维层流风场技术的大面积钙钛矿薄膜气相沉积制备方法”的专利,公开号CN121046784A,申请日期为2025年8月。专利摘要显示,本发明提供基于三维层流风场技术的大面积钙钛矿薄膜气相沉积制备方法,涉及光纤技术领域,包括:控制所述三维层流风场的方向和流速,使所述前驱体蒸气在层流风场的引导下均匀输送至基底表面,所述基底温度为80-150℃;在所述基底表面进行钙钛矿薄膜的气相沉积,通过调控沉积温度为80-150℃、风场流速为0.5-5m/s和前驱体蒸气浓度,实现大面积、均匀且结晶性良好的钙钛矿薄膜的制备;对沉积后的钙钛矿薄膜在90-150℃下进行退火处理10-60分钟,以优化其晶体结构和光电性能。本发明有效克服了传统气相沉积中蒸气分布不均的问题。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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