国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“材料沉积装置及相关方法”的专利，公开号CN121046943A，申请日期为2025年5月。

专利摘要显示，描述了材料沉积装置和相关方法。当前描述的设备和方法允许在沉积和蚀刻步骤期间以变化的衬底旋转速度执行循环沉积‑蚀刻过程。因此，它们允许沉积具有优异均匀性的材料。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员