国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“快速热处理工艺设备及晶圆位置纠偏方法”的专利，公开号CN121054516A，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，本发明提供了快速热处理工艺设备及晶圆位置纠偏方法；其中，承载环的正面承载有晶圆，背面设有热致变色部；当加热组件对晶圆进行热辐射加热时，承载环中晶圆覆盖区域和未覆盖区域存在温差，导致晶圆覆盖区域的热致变色部未发生变色，晶圆未覆盖区域的热致变色部发生变色，此时，通过摄像设备拍摄热致变色部可以确定承载环的圆心位置和晶圆的圆心位置，从而根据承载环的圆心位置和晶圆的圆心位置不仅可以实时监测晶圆在腔室内的位置，还可以判断晶圆是否偏心，并在发生偏心时对晶圆位置进行调节，以使承载环的圆心位置和晶圆的圆心位置相重合，进而确保了快速热处理工艺设备的工艺效果。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1275次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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作者：情报员