国家知识产权局信息显示,安徽万维克林精密装备有限公司取得一项名为“一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的N2 Purge改造装置”的专利,授权公告号CN223612395U,申请日期为2025年2月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的N2Purge改造装置,涉及半导体技术领域,包括:平台板;设置在所述平台板上方的连接底座,所述连接底座的上端连接有FOUP盒子,所述连接底座的中部下方左侧设置有FOUP监测Sensor,所述FOUP盒子的左端下侧设置有与连接底座相连接的进气胶垫,所述平台板的下端左侧设置有进气管路,所述平台板的下端右侧设置有排气管路;解决现有Loadport台面上的固定规格尺寸的胶盘种类较多,对设备改造升级不便,常常需要更换不同尺寸规格的胶盘满足FOUP进出气口的密封,降低生产效率,延长设备改造、调试时间,同时,FOUP盒子在拿取晶圆时不便于进行开合操作,易给操作人员带来困难,浪费劳动力技术问题。

天眼查资料显示,安徽万维克林精密装备有限公司,成立于2020年,位于合肥市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1456万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽万维克林精密装备有限公司参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息71条,此外企业还拥有行政许可4个。

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作者:情报员