国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于热均匀性的方法和装置”的专利，公开号CN121054523A，申请日期为2025年5月。

专利摘要显示，本技术的各种实施例可以提供一种具有顶部和底部的气体分配系统。顶部包含带有通道的冷却环、位于喷淋头区域上方的第一加热环、沿着顶部边缘的第二加热元件以及沿着顶部边缘的第三加热元件。底部包含多个沿着底部周边布置的加热元件，其从喷淋头区域径向向外布置。

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作者：情报员