国家知识产权局信息显示,上海富乐华半导体科技有限公司、江苏富乐华功率半导体研究院有限公司申请一项名为“一种镀铜基板双面平面化学机械抛光方法”的专利,公开号CN 121042953 A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明公开了一种镀铜基板双面平面化学机械抛光方法,涉及陶瓷基板制造技术领域。包括以下过程:步骤1:取X片电镀后翘曲的镀铜基板进行整平处理,得到镀铜基板A;步骤2:对镀铜基板A进行双面粗研磨处理,得到镀铜基板B;步骤3:将镀铜基板B进行喷砂处理,得到镀铜基板C;步骤4:对镀铜基板C进行双面精抛处理,得到镀铜基板D;步骤5:将镀铜基板D进行清洗处理,得到成品。本申请针对电镀铜基的多级研磨-化学机械抛光一体化工艺,解决铜层厚度不均、表面划痕、边缘塌陷等问题,使得成品满足激光热沉基板对表面粗糙度Ra≤0.1μm的需求。
天眼查资料显示,上海富乐华半导体科技有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事金属制品业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海富乐华半导体科技有限公司参与招投标项目8次,专利信息103条,此外企业还拥有行政许可35个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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