FEI申请电子显微镜系统中的透镜配置专利,克服了之前在很小着陆能量和最大视场下对最大工作距离的限制
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国家知识产权局信息显示,FEI公司申请一项名为“电子显微镜系统中的透镜配置”的专利,公开号CN121075889A,申请日期为2025年5月。
专利摘要显示,一种带电粒子束系统包括带电粒子源和带电粒子束柱,以将带电粒子聚焦成具有着陆能量的带电粒子束。磁透镜在带电粒子束柱中沿轴基于线圈中的磁透镜激励形成。该磁透镜将带电粒子束聚焦在轴上第一交叉点处。静电透镜在带电粒子束中沿轴基于施加至增强管的电压形成。该静电透镜将带电粒子束聚焦在轴上第一交叉点处。第一交叉点基于磁透镜激励。引入额外的交叉点克服了之前在很小着陆能量和最大视场下对最大工作距离的限制。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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