国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“金属污染在线监测方法、系统、电子设备、存储介质及计算机程序产品”的专利，公开号CN121068630A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请涉及一种金属污染在线监测方法、系统、电子设备、存储介质及计算机程序产品。该方法，包括：获取半导体工艺中工艺腔内的光谱数据；根据主成分分析模型计算光谱数据的SPE统计量，当判断SPE统计量超过预设控制限时，将光谱数据作为污染光谱，并进入金属污染分析步骤，其包括：基于污染光谱的工艺时间阶段，获取最接近的基准光谱，计算污染光谱与基准光谱的差谱；基于原始光谱数据与差谱，计算待测金属的污染指数；将待测金属的污染指数与预设的金属特征谱数据库进行匹配，当匹配结果满足预设条件时，确定工艺腔内存在金属污染，并输出报警信号。本申请可以实现对金属污染的早期预警和快速响应，从而提升半导体制造的工艺控制水平和产品良率。

天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本229.6265万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息41条，此外企业还拥有行政许可3个。

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作者：情报员