国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司取得一项名为“一种等离子体刻蚀设备”的专利，授权公告号CN223638326U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请公开了一种等离子体刻蚀设备，涉及等离子体处理领域，包括：等离子体反应腔室、射频组件和偏压电极组件；其中，所述偏压电极组件包括：静电吸盘，所述静电吸盘包括层叠的第一组成结构和第二组成结构，所述第二组成结构远离所述第一组成结构的一侧放置所述晶圆，所述第一组成结构提供偏压电场，所述工艺气体在所述偏压电场的作用下向所述晶圆移动，所述第一组成结构包括至少两个支撑结构，所述支撑结构为导电结构，不同所述支撑结构之间设置有绝缘分隔结构；电压控制组件，所述电压控制组件包括至少两个输出端，不同所述支撑结构通过不同所述输出端提供偏压信号。该等离子体刻蚀设备可以提高刻蚀均匀性。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目254次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息460条，此外企业还拥有行政许可14个。

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作者：情报员