12月12日，第十一届福建青年创青春大赛总结交流活动暨科技创新成果分享会在三明永安成功举办。本次大赛以“青春为中国式现代化挺膺担当”为主题，设置科技创新、数字经济、台湾青年创业三大专项，共吸引1266个项目报名参赛，涵盖人工智能、生物制造、生命健康、大数据、区块链技术等多个前沿领域，涌现出一批科技含量高、市场潜力大、社会效益好的优质创新项目。
近日，集美大学先进半导体级薄膜实验室“大面积高均匀性MPALD设备开发”项目获得第十一届福建青年创青春大赛决赛台湾青年创业组一等奖，其直击7纳米及以下先进制程薄膜沉积的均匀性、稳定性问题，并进一步应用于鳍式场效应晶体管，为国内半导体产业提供具有国际竞争力的设备解决方案。实验室负责人表示：“这份荣誉如同一束光，照亮了青年科技工作者在半导体装备自主创新道路上跋涉的足迹，也让我们所为之奋斗的技术理想获得了前所未有的认可。”
“自实验室诞生之日起，我们便确立了以‘工艺—设备双轮驱动’为核心的战略，不仅要做设备，更要深入工艺本质，解决从原理到应用的完整链条问题。我们深知，突破技术壁垒绝非易事，尤其是面对外延制造中至关重要的‘ ₁₀ ¹¹ ₋₁₀ ¹³ cm ⁻³ 高密度等离子体’技术高地。它如同半导体精密皇冠上的一颗明珠，我们立志要将其摘下。”谈及项目研发的初衷，实验室负责人如是说。目前，全球半导体行业正在快速向更高精度、更低功耗的技术节点发展，7纳米及以下制程需求持续增长。薄膜沉积技术在晶圆制造中扮演着关键角色，其均匀性、稳定性和沉积速率直接影响芯片性能。国内市场对高效、低成本的薄膜沉积设备需求迫切，尤其是能够替代国际巨头产品的国产设备更是备受青睐。MPALD生长氧化物、氮化物、碳化物等薄膜沉积技术正是这个解决方案的首选。
在实验室多年的研发实践中，由青年科技骨干组成的团队积累了大量的技术成果和经验数据，为持续向半导体装备中“感生超高电子密度及其高活性自由基”这一更尖端的技术高峰攀登奠定了基础。未来，实验室将继续以技术为本，以创新为刃，与产业同仁一道，为提升中国半导体装备的自主化与竞争力贡献热忱与智慧。
来源：福建共青团、福建青年 编辑：莫晓兰 校对：韩穆颖 校审：余运炜
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