近日,网络上一则日本业内人士放话:不给中国化学气体,中国连 7nm 的影子都看不见,这种论调甚嚣尘上。这种夸张、甚至带有霸权色彩的断言,看起来像一针挑衅的宣言,却实实在在反映了现实世界一个重要话题:半导体产业供应链中,那些你看不见却决定成败的化学气体,究竟有多重要?中国在这块真是靠日本撑着?事实又是否如其口中所言?

在我们看不见的芯片生产背后,有一种非常不起眼但却决定芯片生死存亡的“隐形原料”——半导体制造用的电子特种气体与化学气体。它们不是普通气体,而是经过高度纯化、精密控制、在极端条件下使用的特殊材料,用于清洗、蚀刻、沉积、光刻等关键工艺。

三氟化氮(NF3) 是半导体制造中用于等离子蚀刻和反应腔清洗的关键气体,几乎每一片晶圆的生产都离不开它。它用于去除腔体内残留的硅化物,防止污染和缺陷产生。

氩气、氮气、氖气、氪气一类的稀有气体,在光刻、环境保护、等离子体发生等环节扮演着不可替代的角色。

这些气体纯度要求高达 “6N” 或更高(即 99.9999% 的纯度),哪怕一个微小杂质都可能导致芯片良率的崩盘。

正因为这些“看不见的”东西决定了芯片产线能不能正常运行,日本、韩国乃至欧美长期在这类化学气体与材料上保持技术优势,被认为是产业链中“难以撼动的堡垒”之一。

确实,日本在半导体材料领域拥有深厚积累,其企业曾在很多高端化学品和设备上占据全球大份额。例如:日本供应商在超高纯度氟化氢、氩气等特气领域曾占据重要市场位置。日企在高端光刻胶、光刻气体等上游材料上过去一度“几乎垄断”。

这种技术积累并非空穴来风,它来源于几十年产业累积、严苛质量管理和长期研发投入。正是这些优势,让一些人在论及中国半导体时,不免用带有点傲慢的语气说出类似“不给气体中国连 7nm 的影子都看不见”的言论。

但现实世界从未像他们口中那样简单。事实上,中国在化学气体供应链上并非毫无作为。过去几年,中国企业在电子气体领域已经实现了明显的国产化突破:

1.国产特气产能迅速增长

以 NF3 为例,中国从过去依赖进口供应,到现在成为全球重要的 NF3 生产基地之一。据行业数据,中国的 NF3 产能在近年来实现了高速增长,而且部分产品已经能够外销。

2.本土企业技术实用性不断提升

类似中船特气、华特气体等国内企业已经实现了 NF3、WF6、Ar/F/Ne 等多种电子气体的稳定供应,并且其产品在 14nm、7nm 等制程产线中已被批量应用,得到了国际客户认证。

3.进口替代加速布局

在进口材料受贸易摩擦影响的情况下,中国加大对国产化的支持力度,不仅在 NF3,还涵盖了更大种类的特气与前驱体材料,通过政策与市场共同作用快速补充产业链短板。

这些进展说明,中国已经不是看到日本“气体就跪拜”的阶段,而是在用实际行动改变供应格局。在特定种类产品上,国内产能甚至已出现供过于求的趋势,这在过去是难以想象的。

值得注意的是,日本所谓“卡脖子断供就会让中国连7nm影子都看不见”的言论,本身夸大了单一环节的影响力。芯片制造是一个极其复杂与庞大的系统工程,仅有“化学气体”这一环节的断供,并不会让中国整个先进制程彻底停摆。

事实上,中国芯片产业已经在多个关键领域展开应对与替代:

在光刻机、装备层面,中国企业通过升级旧款设备与自主创新,已能实现某些先进节点的量产,即使仍受国际出口管制限制,中国仍在 靠技术途径突破困局。在材料领域,不仅局限于气体,中国已在光刻胶、CMP 材料等关键材料上布局国产替代方案。

通俗来说,半导体节点是否能推进,不是单靠某一种气体就能左右。即使日本断供某类材料,中国的产业链有足够的弹性与替代路径,而这种抗风险能力正是在长期“卡脖子”压力下逐步锻造出来的。

反过来看,日本国内其实同样深受全球供应链的影响:日本自身极高价值的半导体产品,也需要从中国进口大量中间材料与终端电子设备。任何单边断供都可能反噬本国企业的生产与市场。日本对氦气等稀有气体也存在进口依赖,而在全球采购竞争中还出现了不如中国。这说明供应链不是谁单方面“说停就停”的权力游戏,而是全球共同发展、互相依赖的复杂生态。

中国不是在等待供应,而是在自己造供应。中国不是被动依靠,而是在加快赶超与替代。中国不是技术贫瘠,而是在开放与竞争中积累实力。

中国半导体材料产业的奋起不仅反击了这种论调,更在全球供应链中重塑了中国方案的影响力。国的芯片产业发展,绝不是依赖某一个国家的气体供应,而是靠无数人钻研、突破与坚持的积累。正所谓——别人断供,我们自我突破;别人夸夸其谈,我们以实力回应。

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