截至2025年12月25日 14:58，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.12%，成分股华兴源创上涨9.18%，先锋精科上涨6.83%，华峰测控上涨2.88%，欧莱新材上涨2.68%，盛美上海上涨1.71%。科创半导体ETF（588170）上涨0.19%。

据中国政府采购网公示，上海微电子装备（集团）股份有限公司中标zycgr22011903采购步进扫描式光刻机项目，设备数量为一台，成交金额10999.985万元。

招商证券表示，设备公司正处于景气上行周期，本轮核心驱动因素系AI带动先进制程需求增长同时成熟制程逐步复苏，2025 年先进逻辑持续拉货，设备公司订单持续向好，同时头部设备公司不断放量，国产化率持续提升。展望25-27年，全球半导体设备市场空间持续增长，国内设备技术水平持续突破，国产化率迎来1-N阶段大规模提升，伴随下游先进存储持续扩产，卡位良好及份额较高的存储设备公司有望充分受益。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备（61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。