国家知识产权局信息显示,嘉兴微拓电子科技股份有限公司取得一项名为“一种用于光刻机晶圆定位的成像对准机构”的专利,授权公告号CN223712004U,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本实用新型提出一种用于光刻机晶圆定位的成像对准机构,其包括承载装配组件、图像进光组件、进出分光组件、光源进光组件、图像出光组件、变焦切换组件及感光成像组件,该对准机构采用光源镜头、折向镜组、分光棱镜及图像镜头向晶圆标记传输光源光线,对其进行照明,还通过图像镜头对晶圆标记的图像光线进行获取,通过分光棱镜、横向镜组及竖向镜组传输至变焦镜头中,并通过切换气缸带动变焦镜头偏转,使变焦镜头中的低倍镜头及高倍镜头对图像光线进行焦距切换,相应采用粗动平台结构及微动平台对晶圆进行调节,具有对准精度高、结构简单、可操作性强、效率高的优势,可以提升光刻生产过程中的良品率,降低生产成本。

天眼查资料显示,嘉兴微拓电子科技股份有限公司,成立于2014年,位于嘉兴市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,嘉兴微拓电子科技股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1次,专利信息31条,此外企业还拥有行政许可3个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员