据中国政府采购网公示，上海微电子装备（集团）股份有限公司中标步进扫描式光刻机项目，成交金额1.1亿元，招标方为科学技术部。据悉，上海微电子已于今年5月官宣实现90nm ArF光刻机量产。

有分析称，上海微电子中标光刻机，半导体设备领域有望率先受益。步进扫描式光刻机作为芯片制造的关键设备，其商业化落地或将进一步推动半导体设备环节的国产化进程。国产AI芯片产业也将迎来发展契机，若未来光刻机技术进一步突破，可为国产AI芯片制造提供更先进的设备支撑，助力提升成熟制程及高端芯片的自主可控能力。

中证半导体材料设备主题指数聚焦半导体材料与设备领域，其中半导体设备占比约62%，有望在国产化产业趋势下展现较好弹性；上证科创板人工智能指数聚焦科创板AI产业链企业，芯片相关权重占比在同类指数中排名第一，且第一大权重股为典型的国产AI算力标的。

半导体设备ETF易方达（159558）、科创人工智能ETF（588730）分别跟踪以上指数，助力投资者把握芯片自主可控投资机遇。