国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“半导体加工工具中的空间感知系统”的专利，公开号CN121219830A，申请日期为2024年4月。

专利摘要显示，一种用于半导体处理工具的传感器辅助信号校准的方法包含将从与该半导体处理工具相关联的传感器阵列的至少一个测距传感器接收的多个传感器测量值解码。基于该多个传感器测量值，检测在该半导体处理工具的访问区内干扰物体的存在。检测无线信号的至少一个信号特性相对于预配置的值的偏移。基于该无线信号的该至少一个信号特性的该偏移与该干扰物体的存在，产生相关性。至少部分基于该相关性，执行与该无线信号相关联的缓解行动。

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作者：情报员