国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“一种用于真空腔室内的晶圆加热装置”的专利，公开号CN121215568A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于真空腔室内的晶圆加热装置，涉及半导体设备技术领域；该装置包括安装座，安装座内设有真空馈通密封件，上端设有水冷板，水冷板上设有支撑板、加热盘和压环；加热盘内部设置有加热元件和加热电极，加热电极处设置有电流馈通件，电流馈通件通过错位转接座与真空馈通密封件连接，支撑板上形成有凹槽，凹槽的边缘形成有台阶部，加热盘安装放置在台阶部上，台阶部的边缘形成有环形凸台；压环能够将加热盘固定在压环与台阶部之间，环形凸台和压环的内周侧壁与加热盘的外周侧壁之间形成有第三间隙空间。本发明提供的装置，可保证真空腔室密封性，减少热量向下传递，保证足够的加热效率；同时，可避免加热盘热膨胀导致损坏。

天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本135298.7908万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目75次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息166条，此外企业还拥有行政许可25个。

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作者：情报员