国家知识产权局信息显示，拓荆科技（上海）有限公司取得一项名为“多机台工艺模块共用前级管路清洗装置及其薄膜沉积设备”的专利，授权公告号CN223717899U，申请日期为2025年2月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种多机台工艺模块共用前级管路清洗装置，其包括：前级管路清洗模块以及与所述前级管路清洗模块连接的至少两个机台工艺模块；所述前级管路清洗模块包括：气箱，与所述气箱连通的等离子体产生单元，以及连接于所述等离子体产生单元的输出端连接的至少两个气阀，所述气阀分别控制其中一路供给所述机台工艺模块的清洗气。本实用新型还公开了一种薄膜沉积设备，其采用一台前级管路清洗模块同时或分步为至少两组机台的工艺模块提供清洗工艺，不仅提高了前级管路清洗模块的使用率，而且结构简单，减小了设备占用空间，方便机台维护，降低了装置制造成本。

天眼查资料显示，拓荆科技（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本143253.79万人民币。通过天眼查大数据分析，拓荆科技（上海）有限公司参与招投标项目37次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息353条，此外企业还拥有行政许可40个。

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作者：情报员