国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“用于反射镜的非接触式温度传感器、投射镜头和用于测量反射镜温度的方法”的专利，公开号CN121219641A，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，本发明涉及一种用于微光刻投射曝光设备（600、700）的反射镜装置（100），其具有至少一个反射镜（101）。所述反射镜（101）包括反射镜主体（102）和形成在所述反射镜主体（102）上的反射表面（103），其中存在至少一个凹陷（104），所述凹陷（104）从远离所述反射表面（103）的所述反射镜主体（102）的背面在所述反射表面（103）的方向上延伸通过所述反射镜主体（102），其中所述凹陷（104）在面向所述反射表面（103）的端部处具有测量区域（105），所述测量区域（105）热连接到所述反射表面（103）。所述反射镜装置还具有传感器单元（106）。所述传感器单元（106）被形成为红外温度传感器，并且被配置用于相对于所述测量区域（105）非接触地确定所述测量区域（105）的温度。

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作者：情报员