12月29日
《新华日报》整版刊发文章
聚焦第三代半导体
苏州纳米城锻造产业创新高地
千亿“芯”集群 澎湃新动能
全文如下
苏州城东,独墅湖畔
一场围绕微观世界的宏大产业叙事
正澎湃展开
作为中国改革开放的重要窗口,苏州工业园区将视野投向决定未来竞争高度的核心领域——半导体产业,以近20年的精耕细作,构建起从设计、制造到封测、材料设备的完整产业链,成为我国半导体产业资源集聚度最高、产业化程度最好的区域之一。
苏州纳米城是苏州工业园区
纳米技术应用产业的主阵地
也是半导体产业发展的核心载体
近年来,苏州纳米城大力聚焦第三代半导体领域,培育了晶湛半导体、东微半导体、度亘核芯、纳维科技、秋水半导体、苏纳光电、微玖光电等一批细分领域的领军企业,在高质量GaN衬底材料、大尺寸硅基外延技术、高功率密度芯片工艺、微波和电力电子器件、新型显示等领域形成了明显的技术领先态势,跻身“第三代半导体最具竞争力产业园区”榜首,连续数年登榜“中国十大集成电路高质量发展优秀园区”。
“还记得刚来的时候,这里还是一片芦苇荡,如今郁郁葱葱的产业森林已拔地而起。”苏州纳米科技发展有限公司董事长张淑梅的感慨,将这片土地的起点与变迁娓娓道来。其发展脉络,清晰映射出中国在新一代半导体领域从追赶到领跑的奋进征程。
前瞻布局
播撒创新种子
孕育千亿产业森林
时值初冬
苏州纳米城研发楼外暖阳轻抚
楼侧的洁净厂房则处于
严格的恒温恒湿管控之下
实验区域内,技术人员身着标准蓝色无尘服,通过隔离手套窗全神贯注地开展设备操作;扫描电镜下,芯片晶圆表面的纳米级电路纹路清晰可辨,结构精密如微缩城区。这一幕幕,犹如庞大产业网络中的一个精密节点,在无声中为苏州工业园区的半导体脉搏提供着动力。
眼前的生动与繁荣
始于一场世纪初的前瞻布局
第三代半导体
作为支撑未来能源革命与通信变革的基石
早在彼时就已进入园区的战略视野
2005年
园区已被认定为首批国家集成电路产业园,在电子信息制造领域站稳脚跟。为谋求更高维度的产业转型,园区携手中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,将筹码押注于当时尚处萌芽阶段的纳米技术应用产业。
2010年
园区在全国率先将纳米技术应用列为战略性新兴产业,而2013年正式投用的苏州纳米城,则从此以十年如一日的恒心,肩负起平台搭建、生态培育的多重使命,将以第三代半导体为核心的先进半导体锁定为重点攻坚赛道。
作为最早入驻苏州纳米城的企业之一
晶湛半导体
是这条奋进之路上的典型代表
今年,其基于ZDP平台验证的Full Color GaN®全彩系列第二代外延片正式发布,为Micro-LED等前沿显示领域带来了破局曙光。“我们从满足AR/MR系统要求,到如今能快速验证并加速产品迭代,关键就在材料平台的持续升级。”苏州晶湛半导体有限公司董事长程凯介绍。
扎根苏州纳米城十余年,晶湛半导体聚焦氮化镓外延片,成功突破12英寸硅基氮化镓外延技术,填补我国氮化镓产业空白,成长为全球唯一可供应300mm硅基氮化镓外延产品的厂商。
今年,晶湛半导体与东微半导体达成战略合作,共同推进12英寸氮化镓技术与产品的研发与应用,旨在发挥产业链上下游强强联合的效果,为我国氮化镓产业链的完善和提升注入强劲动力。
晶湛半导体的故事并非孤例
众多企业在其细分赛道上全力奔跑
共同汇聚成“国产替代”的澎湃声浪
在苏州纳米城这片创新沃土上,一条覆盖“设备辅材—衬底外延—器件—应用”的完整产业链已然成型:从纳芯微的汽车级芯片,到易缆微的全球首款400Gbps光通信芯片;从欧名欣的高分辨率光刻胶、秋水半导体率先打通8英寸Micro-LED混合键合的关键技术环节,到迈姆思量产的SOI晶圆……
产业的真正高度
不仅取决于规模
更在于其体系的深度与完整性
当前,园区半导体产业
已形成千亿级产业集群
而苏州纳米城
正是驱动这一体系的核心引擎
其突出优势在于构建了深度融合的创新生态——苏州实验室、国家第三代半导体技术创新中心(苏州)等顶尖战略平台在此汇聚,形成了从材料研发、器件加工、封装测试到中小规模量产的公共支撑体系。目前,这里已吸引近百家企业和几十名国家级重点人才,构建的不仅是一个产业高地,更是一个面向未来、自主可控的“芯”生态系统。
平台赋能
点亮“灯塔”引擎
打通成果转化航道
在方寸之间雕琢精密电路,离不开精益求精的工匠精神;于有限空间布局未来产业,更需要高瞻远瞩的系统思维与指引航向的“灯塔”。这,正是苏州工业园区发展半导体产业的关键密码。
这一系统思维的最新注脚落在了
园区东部、吴淞江环绕的桑田科学岛上
国家第三代半导体技术
创新中心(苏州)总部基地
在如火如荼地建设中
厂房目前已全面封顶
这项总占地超过5万平方米的项目,规划建设了包括科研孵化、洁净实验室、配套辅助设施用房,涵盖材料生长创新、器件工艺与封装测试、测试分析与服务评价等,涉及长晶、切磨抛、外延、器件、封装、测试、模块等第三代半导体全产业链,计划于2027年竣工交付。
自2021年落户苏州纳米城,这个“国字号”平台在短短4年内已承担省级以上重大项目超20项,构建了从材料生长到器件工艺的公共研发平台体系,形成了支撑全产业链的系统能力。
作为第三代半导体领域的“创新枢纽”,国创中心(苏州)承担着攻克从“1 到100”产业共性关键技术的使命,助力实验室成果加速迈向产业化生产线。在今年第十五届中国国际纳米技术产业博览会上,中心发布的国产化装备成果,已成为推动新能源汽车、储能等领域升级的重要力量。
平台的赋能效应立竿见影。“以前一项关键材料测试都要几经波折,如今在国创中心的测试分析平台,能以最快的速度拿到精准数据。”苏州纳维科技有限公司研发负责人感慨。平台共享的千级洁净实验室与尖端测试设备,每年能为企业节省近千万元研发成本。
这种强大的平台支撑
正催生着颠覆性的创新
在易缆微半导体的实验室内,一款基于硅光异质集成薄膜铌酸锂平台的400Gbps调制芯片正在接受严苛测试。这种材料被誉为“光子芯片的脊梁”,凭借其出众的电光转换效率,成为下一代超高速通信的核心战略材料。易缆微的这款全球首创芯片,专为未来3.2T数据中心光模块设计,传输速率较传统芯片提升一倍。
“近年来,MEMS RIGHT平台继续优化升级,开展了包括化合物半导体材料、铌酸锂、PZT等新材料产品的工艺研发、中试、量产服务,对区域乃至全国的产业创新发展提供了重大支撑及促进作用。”苏州纳米科技发展有限公司副董事长、总裁蔡勇介绍道。
从材料生长创新,到器件工艺开发
从器件加工平台,到铌酸锂芯片中试平台
苏州纳米城已编织出一张
覆盖半导体全产业链的公共技术服务网络
这些平台如同高效的“创新枢纽”,将高校的前沿研究、科研院所的原始创新与企业的市场需求无缝对接,形成了一个“基础研究—应用开发—产业转化”自我强化的良性循环。在这里,宏大的战略最终化为透射电镜下的精妙工艺与争分夺秒的产业效率,共同塑造着中国半导体产业的未来竞争力。
筑巢引凤
厚植创新沃土
构筑全球竞争基座
在半导体这个以“纳米”论英雄的行业
一粒微尘
就足以让价值不菲的晶圆瞬间报废
与其说这里比拼的是技术
不如说首先是一场
关于环境纯净度的极致追求
走进苏州纳米城的标准化洁净厂房
仿佛进入一个
与世隔绝的“绝对领域”
以百级洁净室Class 100为例,在每立方英尺的受控空气中,粒径大于等于0.5微米的粒子数量最多不超过100个。
温度波动精度控制在±0.5℃、相对湿度波动不超过±2%,这些严苛的环境管控指标,共同构筑了芯片生产制程稳定性与产品良率的第一道生命线。
“这里的环境,就是产品质量的起点。”苏州纳米科技发展有限公司副总裁李寿祥说。
极高的静态标准只是基础,苏州纳米城厂房的核心竞争力还在于“灵活”与“预见”。厂房采用模块化设计,百级、千级洁净等级可灵活分割。更关键的是,为满足第三代半导体工艺对特殊气体和液体的苛刻需求,厂房在建设时便配置了完善的专业配套设施。
在苏州纳米城B2地块
这种为高端芯片制造量身定制的理念
体现得更为彻底
这里配套齐全,能满足半导体全产业链制造需求,不仅有最高11.8米的层高、22kN/㎡的楼面荷载,VC-B至VC-D级的精密防微震结构,以及完善的冷热源系统等动力设施,更配备了独立的110KV变电站,确保电力供应如心脏般稳定搏动。
从千级至十万级洁净装修到全覆盖的工业气体、纯水接口,从同步规划的动力站到高标准的消防系统,一套完整的基础设施生态系统已然成型。
“常规半导体企业车间建设周期普遍超3年,而苏州纳米城B2地块凭借完善的基础设施配套,可大幅压缩入驻企业建设周期与成本,实现一年内甚至更短时间投产运营。”李寿祥说。
目光投向未来
苏州纳米城的蓝图已然绘就
未来5年,苏州纳米城将在第三代半导体核心材料与关键设备领域实现自主可控,培育在全球范围内有影响力的龙头企业。支撑这份雄心的,是全国80%氮化镓领域国家级人才落户园区的技术底气,是覆盖研发投入、人才引进、市场开拓的专项政策,以及旨在攻克关键环节的百亿级产业基金。
站在新的起点,苏州纳米城的视野投向全球:通过建立海外联合实验室、吸引国际顶尖人才、深度参与国际标准制定,在开放合作中提升话语权。“这场竞争是全球性的,我们必须植根本土,同时与世界交流。”张淑梅说。
夜幕低垂
苏州纳米城研发楼实验室里
研发人员紧盯屏幕调试着新一代材料的参数,每一次细微调整都向着解决关键难题更近一步。
会议室中,跨领域团队的思想碰撞激荡出创新火花,勾勒着产业链协同的未来图景。
洁净厂房内,自动化生产线的低鸣昼夜不息,将纳米级的精密构想转化为驱动产业升级的核心产品……
从昔日芦苇荡的寂静,到如今“芯”高地的澎湃,这幅发展画卷的背后,是苏州工业园区对前沿赛道的精准把握,是对创新生态的悉心培育,更是中国半导体产业向上突围的坚定步伐。这片沃土上的每一次突破、每一步前行,都在书写着中国“芯”力量的成长密码,也必将为全球半导体产业发展注入更加强劲的中国动能。
来源:新华日报
拟稿:余杨
审核:王子元
审签:黄爱萍
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