国家知识产权局信息显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“电镀装置”的专利,公开号CN121228324A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本申请公开了一种电镀装置,包括阳极腔,阳极腔边缘区域设置有阳极挡墙,用于将阳极腔分隔为第一阳极区和第二阳极区,第二阳极区为阳极腔边缘区域的周向的局部区域,第一阳极区中容纳有第一阳极,第二阳极区中容纳有第二阳极,第二阳极被配置为:在基板的电镀过程中,基板边缘区域在第二阳极区内接收到的总电量一致。本申请提高了基板边缘区域的膜厚均匀性。
天眼查资料显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司,成立于2005年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本47989.2514万人民币。通过天眼查大数据分析,盛美半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目171次,财产线索方面有商标信息28条,专利信息654条,此外企业还拥有行政许可31个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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