国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“OES光谱仪所用的光学探头及其光学系统”的专利，公开号CN121231374A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请涉及一种OES光谱仪所用的光学探头及其光学系统。该光学探头，用于安装在半导体工艺腔的侧壁上，包括：基座，设有轴向贯穿的中心通孔，中心通孔的一端为所述基座的进光端，中心通孔的另一端为所述基座的出光端；透镜组，设于所述基座的中心通孔中，所述透镜组的入光面为超圆锥面且朝向所述基座的进光端设置，所述透镜组用于采集所述半导体工艺腔中晶圆侧面的矩形光信号，且将所述矩形光信号空间耦合至光学狭缝处。本申请可以提高光通量，使得光学探头与光学狭缝的耦合率高，进而提高OES光谱仪的检测精度。

天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本283.866万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息62条，此外企业还拥有行政许可3个。

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作者：情报员