国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“多区域热控喷淋头”的专利，公开号CN121228206A，申请日期为2025年6月。

专利摘要显示，提供了一种用于在反应室内分配气体的喷淋头组件。喷淋头组件包括顶板、气体分配板和多个热可控区域。气体分配板联接至顶板。气体分配板还具有面向顶板的顶表面和配置为面向设置在反应室内的衬底的底表面。多个热可控区域被制造在顶板和气体分配板中的至少一个中。还描述了控制喷淋头组件的热分布的方法和制造喷淋头组件的方法。

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作者：情报员