国家知识产权局信息显示,ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“歧管组件、反应器系统以及供应气体混合物的相关方法”的专利,公开号CN121222335A,申请日期为2025年6月。
专利摘要显示,公开了歧管组件、包括歧管组件的反应器系统以及采用歧管组件向反应室供应气体混合物的相关方法。所公开的歧管组件包括用于将第一气体引入到歧管主体中的第一气体注入端口、用于将第二气体引入到歧管主体中的第二气体注入端口以及用于混合第一气体和第二气体的集气室。公开了包括歧管组件的反应器系统,并且公开了采用歧管组件向反应室供应气体混合物的方法。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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