国家知识产权局信息显示,华芯程(杭州)科技有限公司申请一项名为“一种光学邻近校正方法及装置”的专利,公开号CN121232545A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明涉及集成电路制造领域,特别是涉及一种光学邻近校正方法及装置,通过接收目标晶片图案;依据预设的网格尺寸根据所述目标晶片图案确定目标晶片网格图像;将所述目标晶片图案作为当前掩膜图案;将所述当前掩膜图案,输入预训练的三维光学邻近校正模型,并辅以网格尺寸,得到仿真晶片网格图像;计算各个所述边缘段对应的边缘高度误差;判断所述边缘高度误差是否超出预设的调整阈值;当所述边缘高度误差超出预设的调整阈值时,根据所述边缘高度误差,在对应的法线方向上调整各个所述边缘段的位置,得到更新后的当前掩膜图案;循环步骤四至步骤七,直至所述边缘高度误差不超出所述调整阈值。本发明减少了光刻胶高度损失等缺陷,提升成品良率。

天眼查资料显示,华芯程(杭州)科技有限公司,成立于2021年,位于杭州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1010.688237万人民币。通过天眼查大数据分析,华芯程(杭州)科技有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息63条,专利信息142条,此外企业还拥有行政许可3个。

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作者:情报员