国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构的形成方法”的专利,公开号CN121240478A,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,一种半导体结构的形成方法,包括:提供基底,基底上形成有包括沟道叠层的沟道凸起结构,沟道叠层包括第一牺牲层和沟道层,沟道凸起结构上形成有伪栅结构;去除伪栅结构两侧的沟道凸起结构;对第一牺牲层进行横向去除操作,在沟道层之间,和/或,沟道层和基底之间形成内沟槽,横向去除操作包括:形成覆盖在沟道层和第一牺牲层端部的第二牺牲层;对第二牺牲层进行第一横向去除处理,露出第一牺牲层端部,第一横向去除处理对第一牺牲层上的第二牺牲层的横向去除量,大于对沟道层上的第二牺牲层的横向去除量;对第一牺牲层进行第二横向去除处理,去除第一部分宽度的第一牺牲层;去除第二牺牲层,在内沟槽中形成内侧墙后,形成源漏掺杂层。

天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目127次,财产线索方面有商标信息150条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可446个。

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作者:情报员