国家知识产权局信息显示,成都青洋电子材料有限公司申请一项名为“硅片研磨生产系统及其方法”的专利,公开号CN121245678A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明属于硅片制造技术领域,公开了硅片研磨生产系统及其方法,系统包括可上下扣合的上盖与底台,上盖内设有环形上磨盘及注浆系统,底台内设有环形下磨盘、太阳转盘,底台沿下磨盘外圈设外齿柱,太阳转盘设内齿柱,上下磨盘间环形间隙内置与内外齿柱啮合的载体,载体设限位孔及带弹性挡条的切槽。方法包括装配载体、固定研磨硅片、行星运动研磨,终段研磨时监测剩余厚度,调整磨盘转速压力,必要时微调转向以抑制共振。本发明通过弹性挡条减少硅片晃动,结合终段参数调整消除共振,确保研磨硅片达目标厚度且无波纹,研磨时间延长可控,降低硅片损伤风险。
天眼查资料显示,成都青洋电子材料有限公司,成立于2000年,位于成都市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本7660万人民币。通过天眼查大数据分析,成都青洋电子材料有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目10次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息67条,此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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