国家知识产权局信息显示,深圳市德斯戈智能科技有限公司申请一项名为“一种用于晶圆检测的动态对焦方法、系统、设备及介质”的专利,公开号CN121262464A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体检测技术领域,尤其是涉及一种用于晶圆检测的动态对焦方法、系统、设备及介质,所述方法包括基于预设的标定规则,确定基准参数;获取预设的拍照点坐标序列,基于拍照点坐标序列启动X轴平台进行移动扫描,以获得晶圆表面轮廓的实时距离值序列;根据基准参数和实时距离值序列,确定目标Z轴对焦位置序列;根据目标Z轴对焦位置序列,驱动Z轴平台向目标Z轴对焦位置序列中的目标Z轴对焦位置移动;在X轴平台的移动扫描过程中,当相机的X轴实时位置到达拍照点坐标序列中的任一拍照点坐标时,触发相机进行拍照。本申请具有提高晶圆检测过程中的成像清晰度,从而提升检测精度的效果。
天眼查资料显示,深圳市德斯戈智能科技有限公司,成立于2018年,位于深圳市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本506万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市德斯戈智能科技有限公司财产线索方面有商标信息4条,专利信息50条,此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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