近日，奕瑞科技（688301.SH）再添技术新成果，推出亚微米级分辨率一体封闭式透射靶微焦点X射线源，其0.5μm的最小分辨率与超170°的最大出束角度，不仅达到国际先进水平，更以一体式设计破解行业痛点，为半导体先进封装检测提供关键支撑，成为公司在高端X射线检测设备领域的重要技术里程碑。
随着TSV（硅通孔）、3D集成、倒装焊等先进封装技术的快速迭代，半导体行业对检测设备的精度、效率及稳定性提出更高要求。TSV尺寸精度与凸点互连质量直接影响芯片电性能与良率,而如何更好地平衡高精度与在线集成需求，成为行业技术演进的重要课题。
奕瑞科技此次推出的产品精准直击行业痛点。该X射线源采用一体式透射闭管设计，结构紧凑且安装便捷，可灵活集成于各类在线生产设备，实现先进封装工艺的高精度、高效率实时检测。其亚微米级分辨率与大出束角度的组合，赋予设备媲美开管射线源的检测能力，能精准捕捉TSV内部缺陷与凸点互连问题，为芯片制造良率提升与性能保障提供核心技术支撑。
此外，奕瑞科技已成功推出90~225kV全系列宽靶角封闭管及160kV双聚焦分体式开放管微焦点X射线源。其中，闭管系列产品的最大出束角度达120°，开管产品的极限分辨率可达0.7μm。目前，产品已广泛应用于高端芯片封测、新能源电池等领域的规模化检测，构建了从全面覆盖到尖端突破的完整产品布局。2025年全年，奕瑞科技微焦点X射线源销量接近2,000台。
业内分析指出，先进封装是半导体产业技术升级的核心方向，相关检测设备作为产业链关键环节，市场需求正伴随产业迭代快速增长。此次技术落地，为奕瑞科技开辟了高增长细分市场，更丰富了其在半导体检测领域的产品矩阵，有助于提升对下游客户的服务能力与合作粘性，为企业持续拓展全球半导体设备供应链市场奠定坚实基础。
图1：Libra16UTWE一体封闭式透射靶微焦点X射线源
图2：90~225kV全系列微焦点X射线源
图3：160kV双聚焦开管图像测试卡结果
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