随着芯片集成度不断提高,微电子封装技术正飞速向细节距球形键合(键合节距<50μm)的新阶段,并试验采用更高频率的超声能量以适配更精细的工艺。在这一技术前沿,工程师面临一个核心挑战:如何公平、准确地评估和对比不同尺寸、不同工艺(如不同超声频率)下焊点的键合质量?沿用传统的绝对剪切力值已显不足。今天,科准测控小编将带您了解行业如何通过标准化剪切强度这一关键指标,实现对微米级键合界面质量的科学量化与横向对比。

一、标准化剪切强度:实现公平比较的统一标

当焊球尺寸缩小至微米级,其绝对剪切力(Shear Force, SF)值必然随之下降。若直接比较一个30μm焊球和一个80μm焊球的SF值,结论将是片面且不科学的。为此,行业引入了标准化剪切强度(SS)的概念。其计算公式为:

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dx为x方向上的焊球球径;dy为y方向上的焊球球径。当焊球表现为近圆球形时,dx和dy可以简单地用一个直径测量值D来代替。

SS的典型值范围从5gf/mil²到大于7gf/mil²。这一指标的核心价值在于消除了焊球尺寸的影响,直接反映了键合界面单位面积上的结合强度。这使得评估焦点从宏观的“力”转移到微观的“界面质量”本身,为不同工艺、不同设计之间的公平对比奠定了基础。研究表明,性能良好的键合,其SS典型值范围通常在5 gf/mil²到大于7 gf/mil²之间。

二、洞察本质:连接宏观强度与微观界面的桥梁

标准化剪切强度(SS)作为一个宏观测试值,其物理根源在于微观的键合界面。为了深入理解SS数值背后的含义,并建立工艺参数与最终强度的预测模型,行业通过破坏性微观分析来观测实际金属间化合物(IMC)区域,即真正的“焊接”面积。

使用25μm线径金丝,四种球形键合过程的平均自动键合工艺参数
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使用25μm线径金丝,四种球形键合过程的平均自动键合工艺参数

常用方法是使用特定腐蚀剂(如25%的KOH溶液)选择性腐蚀掉焊盘金属,显露出焊球底部的IMC形貌,然后通过金相显微镜等手段观察和测量。上表汇总的多机构研究数据,正是通过这种方法,系统性地建立了剪切力(SF)、SS值与IMC百分比(焊接面积比例)之间的定量关系。

三、数据驱动工艺优化:从相关性到预测性

这些关联关系的建立,使工艺开发从试错迈向预测。通过分析IMC百分比与SS的关系,可以判断工艺窗口是否优化。更重要的是,基于大量数据,可以推导出经验公式,用于在已知焊球尺寸和预期焊接比例时,预测理论剪切力;或在测得剪切力后,反推估算有效的焊接面积。这为快速评估新工艺、新材料(如金丝掺杂改变)对键合质量的影响提供了强有力的工具。

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四、细节距键合评估一体化专业方案

在细节距键合强度的科学评估全流程中,从精准的宏观力学测试到支撑微观分析的可靠数据,都离不开专业设备的支撑。科准测控的精密力学测试与测量系统,为此提供了一体化解决方案,以精准、可靠的测试数据,赋能微电子封装行业的技术演进。我们提供的不仅是设备,更是帮助客户在细节距时代,实现从“测量”到“理解”,最终达成“优化”与“控制”的科学工具。