国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司;华虹半导体制造(无锡)有限公司申请一项名为“提高铜互连电迁移性能的方法”的专利,公开号CN121285282A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明公开了一种提高铜互连电迁移性能的方法,涉及半导体制造技术领域。该方法包括:在形成暴露出下层铜互连结构的通孔和沟槽结构后,对衬底进行刻蚀后处理,其中,采用包含还原性气体的处理气体,以去除刻蚀残留物并修复下层铜互连结构的受损表面。该方法通过还原性气体的引入,能够同时高效清除残留物并原位修复铜损伤,从而改善通孔与下层金属的界面质量,显著提升铜互连的抗电迁移性能和可靠性。
天眼查资料显示,华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2944次,专利信息1964条,此外企业还拥有行政许可117个。
华虹半导体制造(无锡)有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本402000万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体制造(无锡)有限公司参与招投标项目376次,专利信息158条,此外企业还拥有行政许可229个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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