国家知识产权局信息显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司申请一项名为“晶圆手指的浮动吸附装置、晶圆手指及晶圆处理设备”的专利，公开号CN121285272A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明申请涉及晶圆手指的浮动吸附装置、晶圆手指及晶圆处理设备，属于半导体制造及微纳加工技术领域，晶圆手指的浮动吸附装置包括：基座上开设有容置槽，基座还设置有与容置槽连通的气路；硬质吸附件设置于容置槽内，硬质吸附件具有用于吸附晶圆的吸附面，且硬质吸附件上开设有与吸附面连通的通孔；以及柔性密封件设置于容置槽内、基座与硬质吸附件之间，并沿其周向对基座与所述硬质吸附件之间进行密封，以形成用于气路和通孔连通的密封空间；硬质吸附件通过柔性密封件与基座连接，并基于柔性密封件的弹性形变，弹性地悬浮于容置槽内以实现位置和/或姿态的浮动。本发明申请能够有效降低或避免晶圆表面压痕、划伤，完成晶圆吸附转移。

天眼查资料显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司，成立于2016年，位于宁波市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3584.0571万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波润华全芯微电子设备有限公司参与招投标项目154次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息175条，此外企业还拥有行政许可22个。

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作者：情报员