国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“量测设备的导轨偏移的监控方法”的专利，公开号CN121280403A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明提供一种量测设备的导轨偏移的监控方法，该量测设备的导轨偏移的监控方法包括以下步骤：提供一量测设备所量测的一批晶圆的图库，图库包括多个图组，每个图组包括多个量测同一晶圆的不同量测点的量测图像；基于图库中各量测图形筛选出目标图组；于各目标图像中选取预设量的图案，基于目标图组的X方向和Y方向上所选取图案的信息计算导轨误差；基于导轨误差判断X与Y轴导轨的状态，且目标图组的任一方向的导轨误差小于参考值的比例低于预设比例，则判定该方向的导轨异常。本发明通过在线筛选出目标图组，并基于目标图组中目标图像中图案信息得到导轨误差，在基于导轨误差值判断导轨的健康情况，实现导轨偏移的在线监控，提升了判断效率。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目190次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息928条，此外企业还拥有行政许可56个。

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作者：情报员