国家知识产权局信息显示，旭能科技有限公司申请一项名为“应用声波元件即时量测薄膜厚度的系统”的专利，公开号CN121274884A，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，本发明提供了一种应用声波元件即时量测薄膜厚度的系统，包含至少一具薄膜的载体，薄膜具一薄膜厚度；至少一声波单元，设于载体的周侧并实时侦测薄膜厚度的变化而产生一谐振频率；一计算单元接收及处理声波元件侦测产生的谐振频率。计算单元由薄膜厚度及谐振频率的数值得至少一校正前膜厚频率二维座标系，还由腔体温度及谐振频率的数值得至少一温度频率代偿二维座标系；计算单元再将校正前膜厚频率二维座标系和温度频率代偿二维座标系运算得一膜厚测量三维座标系，供测量时内插搜寻得到薄膜厚度，可实时侦测反馈薄膜厚度，准确率高，提高镀膜良率。

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作者：情报员