国家知识产权局信息显示,安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请一项名为“双轴DFG研磨机Z1-Z2联动去除量控制与砂轮损耗优化方法”的专利,公开号CN121267774A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本发明涉及精密加工技术领域,公开了一种双轴DFG研磨机Z1‑Z2联动去除量控制与砂轮损耗优化方法及系统,旨在解决现有DFG研磨Z1‑Z2去除量分配不合理、砂轮损耗控制不精确及晶圆表面损伤适应性差的问题。该方法及系统利用晶圆初始形貌与材料特性,通过多目标优化及自适应控制确定Z1粗磨参数并调整;结合Z1结果,利用深度学习模型智能分配Z2精磨去除量及参数,实现自适应调整与异常Air Cut;同时,采用砂轮损耗预测模型持续优化研磨参数。本申请通过采用上述技术方案,可显著提升研磨效率精度,延长砂轮寿命,降低成本,解决去除量分配、砂轮损耗及晶圆损伤问题。

天眼查资料显示,安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司,成立于2019年,位于铜陵市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本123009.7159万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司参与招投标项目12次,财产线索方面有商标信息16条,专利信息166条,此外企业还拥有行政许可35个。

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作者:情报员