国家知识产权局信息显示,武汉宇微光学软件有限公司申请一项名为“一种亚分辨率辅助图形三维近场快速建模方法及装置”的专利,公开号CN121280621A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本申请属于计算光刻技术领域,具体公开了一种亚分辨率辅助图形三维近场快速建模方法及装置,该方法包括:基于待建模SRAF掩模版图的几何结构,生成参考SRAF掩模;对所述参考SRAF掩模进行物理仿真,构建SRAF图形近场核函数集;提取所述待建模SRAF掩模版图的几何中线,并对所述几何中线进行微分,获得微分片段集合;基于所述微分片段集合生成不同宽度下的SRAF中线图像;在所述SRAF图形近场核函数集中提取所述不同宽度下的SRAF中线图像分别对应的近场核函数;基于所述不同宽度下的SRAF中线图像,以及所述不同宽度下的SRAF中线图像分别对应的近场核函数,构建SRAF近场分布。该方法可以有效提高任意曲线形状的SRAF图形近场建模效率和建模精度。

天眼查资料显示,武汉宇微光学软件有限公司,成立于2020年,位于武汉市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本154.7213万人民币。通过天眼查大数据分析,武汉宇微光学软件有限公司财产线索方面有商标信息20条,专利信息25条,此外企业还拥有行政许可2个。

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作者:情报员