国家知识产权局信息显示，上海集迦电子科技有限公司申请一项名为“物体间纵向间距的非接触式测量系统和方法”的专利，公开号CN121297696A，申请日期为2025年7月。

专利摘要显示，一种物体间纵向间距的非接触式测量系统和方法，在尺寸受限的空间中，测量物体与邻近物体位置间距：在工件表面上放置光源，向参照物投射具有设定发散角的电磁束，形成放大了的光斑，再通过光接受器接受投射位置处、包括光斑及光斑所在的部分参照物的图像信息，尤其是光强信息；然后处理器处理图像信息，得到光斑的几何数据，包括光斑在参照物上的位置，获得光斑的长度或不同光斑之间的距离，即投影长度，结合发散角，计算出光源至参照物的投射高度，结合光源自身的高度，得到工件与参照物之间的纵向间距。只要光源尺寸足够小，能够放入至处理晶片的腔室中，就能做到随时准确地测量晶片与腔室顶部的纵向间距，极大地保证了晶片制造相关的测量精度。

天眼查资料显示，上海集迦电子科技有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1489.7297万人民币。通过天眼查大数据分析，上海集迦电子科技有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息5条，专利信息78条，此外企业还拥有行政许可5个。

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作者：情报员